一、檢漏儀原理

氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示終氣體，專(zhuān)門(mén)針對(duì)于有氣密性要求的產(chǎn)品做密封性檢測(cè)的質(zhì)譜分析儀器。其基本原理是：采集被檢件中的氣體將其電離，根據(jù)不同種類(lèi)氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn)，用磁偏轉(zhuǎn)分離原理檢出氦離子，通過(guò)測(cè)量氦離子流來(lái)確定漏孔大小及位置。

常用行業(yè)名詞 ：

氣體泄漏：在壓強(qiáng)差存在的情況下所產(chǎn)生的氣體定向移動(dòng)。  

漏率:國(guó)際通用測(cè)量單位Pa·m³/s：表示單位時(shí)間內(nèi)單位壓差情況下通過(guò)某漏孔所泄露的氣體量。

最小可檢漏率：在理想工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦作為示漏氣體，檢漏儀能檢出的最小漏孔。 

響應(yīng)時(shí)間：儀器檢漏口噴氦致使漏率值上升到漏孔飽和泄露值的0.63倍時(shí)所需時(shí)間。 

氦本底：在噴氦檢漏前，由于被檢件和檢漏儀中殘余氦氣不能及時(shí)清除，造成的本底信號(hào)。  

檢漏口最大壓強(qiáng)：檢漏儀內(nèi)檢漏閥開(kāi)啟所允許的最大壓強(qiáng)值。

1.2性能參數(shù) 

1.2.1基本參數(shù) 

額定電壓 單相220V±10%

額定功率 1KW

真空連接 KF25 

環(huán)境溫度 5-40℃ 

相對(duì)濕度 ≤80%

1.2.2 性能指標(biāo) 

檢測(cè)靈敏度：1.0*10-3-1.0*10-13Pa·m3/s
啟動(dòng)時(shí)間：≤3min
響應(yīng)時(shí)間：≤1.0s
電源：220V，50Hz，單相，10A
檢漏口最高壓力：1000Pa
工作環(huán)境：0-40℃
質(zhì)量：65kg

二、系統(tǒng)介紹

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)分為兩部分：

A、質(zhì)譜分析器及各管路通道的真空系統(tǒng)；

B、離子信號(hào)測(cè)量和操作控制的電子測(cè)量控制系統(tǒng)。