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氦質(zhì)譜檢漏儀
一、檢漏儀原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示終氣體,專(zhuān)門(mén)針對(duì)于有氣密性要求的產(chǎn)品做密封性檢測(cè)的質(zhì)譜分析儀器。其基本原理是:采集被檢件中的氣體將其電離,根據(jù)不同種類(lèi)氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),用磁偏轉(zhuǎn)分離原理檢出氦離子,通過(guò)測(cè)量氦離子流來(lái)確定漏孔大小及位置。
常用行業(yè)名詞 :
氣體泄漏:在壓強(qiáng)差存在的情況下所產(chǎn)生的氣體定向移動(dòng)。
漏率:國(guó)際通用測(cè)量單位Pa·m3/s:表示單位時(shí)間內(nèi)單位壓差情況下通過(guò)某漏孔所泄露的氣體量。
最小可檢漏率:在理想工作條件下,以一個(gè)大氣壓的純氦作為示漏氣體,檢漏儀能檢出的最小漏孔。
響應(yīng)時(shí)間:儀器檢漏口噴氦致使漏率值上升到漏孔飽和泄露值的0.63倍時(shí)所需時(shí)間。
氦本底:在噴氦檢漏前,由于被檢件和檢漏儀中殘余氦氣不能及時(shí)清除,造成的本底信號(hào)。
檢漏口最大壓強(qiáng):檢漏儀內(nèi)檢漏閥開(kāi)啟所允許的最大壓強(qiáng)值。
1.2性能參數(shù)
1.2.1基本參數(shù)
額定電壓 單相220V±10%
額定功率 1KW
真空連接 KF25
環(huán)境溫度 5-40℃
相對(duì)濕度 ≤80%
1.2.2 性能指標(biāo)
檢測(cè)靈敏度:1.0*10-3-1.0*10-13Pa·m3/s
啟動(dòng)時(shí)間:≤3min
響應(yīng)時(shí)間:≤1.0s
電源:220V,50Hz,單相,10A
檢漏口最高壓力:1000Pa
工作環(huán)境:0-40℃
質(zhì)量:65kg
二、系統(tǒng)介紹
氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)分為兩部分:
A、質(zhì)譜分析器及各管路通道的真空系統(tǒng);
B、離子信號(hào)測(cè)量和操作控制的電子測(cè)量控制系統(tǒng)。
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