水冷板-真空箱氦檢漏回收系統(tǒng)

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  回收系統(tǒng)部分

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  真空箱部分

  本設(shè)備適用對水冷板(以下簡稱工件)進(jìn)行干式檢漏。主要具有以下功能：

  對被檢工件抽真空保壓檢大漏；

  對被檢工件充注氦氣；

  真空箱法氦質(zhì)譜檢測，自動判斷工件漏率合格與不合格；

  回收并循環(huán)使用氦氣；

  PLC控制，觸摸屏操作，自動檢測。

  
  

  系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

  檢測漏率：5×10-8Pa.m3/S；

  真空箱工作節(jié)拍：180S/兩箱，每箱放2件，含人工操作時間20s；

  檢漏儀開檢(真空箱內(nèi))壓力：≤20pa；

  氦氣回收率：≧98%；

  工件抽空真空度：≤1000pa；

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